三星SK海力士雙雙力推 DRAM制造進入EUV時代
韓國半導(dǎo)體行業(yè)正在準備迎接新的飛躍，全球DRAM市場領(lǐng)頭羊三星電子和SK海力士即將開啟“EUV DRAM”時代。據(jù)韓國科技媒體ETNews報道，三星電子全新半導(dǎo)體工廠“平澤2號”（P2）已于上月開始運營，這座當前世界上最大的半導(dǎo)體工廠將生產(chǎn)全球首個基于EUV的移動DRAM產(chǎn)品。
SK海力士方面，也已在加速推進其基于1a工藝的EUV DRAM產(chǎn)品量產(chǎn)計劃。SK海力士將在其下一代DRAM的生產(chǎn)基地M16芯片廠批量生產(chǎn)EUV DRAM，目前已經(jīng)在園區(qū)內(nèi)安裝了兩臺EUV光刻機。EUV是一種波長為13.5納米的短光源，其波長大約是今天廣泛使用的ArF光源的十分之一，能夠在半導(dǎo)體晶圓上刻畫出更加精細的電路。由于簡化了半導(dǎo)體制造工藝，EUV能夠?qū)⒅圃炀氹娐匪璧墓饪坦に嚋p少一半，并大幅提高生產(chǎn)率。隨著EUV技術(shù)運用范圍的擴大，相關(guān)產(chǎn)業(yè)鏈公司有望迎來機遇。
相關(guān)EUV光刻機概念公司：
英唐智控(行情300131,診股)：擬收購的日本芯片半導(dǎo)體光刻機先鋒微電子的股份；
蘇大維格(行情300331,診股)：光刻設(shè)備主要為紫外光刻直寫設(shè)備，公司光刻機從設(shè)計、組裝以及所用軟件的開發(fā)，均由本公司自主完成，主要用于柔性電子、MEMS以及半導(dǎo)體上游器件等產(chǎn)品的研發(fā)與制造。
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